难熔金属是指熔点很高，又具有极好耐蚀性的金属，如钛、钨、钼、钽、铌、锆、铪及其合金等。虽然这些金属比较 ，但有许多优异性能，近年来被用于石油、化工、航空、航天和核工业等部门。周金保对这类金属的化学抛光作了归纳整理。 难熔金属具有以下一些性质。 ①难熔金属熔点很高，超过2000℃的有W、Ta、Mo、Nb，其余也都超过铁的熔点，因此具有高度的热稳定性和强固性。 ②难熔金属具有强烈的氧化趋势，容易形成稳定的钝化膜，在大气和一般工业介质中具有较好的耐蚀性。 ③耐熔金属具有强烈的吸氢性质。因此在表面处理时容易产生氢脆，从而使材料的力学性能降低。难熔金属化学抛光之后，般需在250。C下进行除氢。 ④虽然耐熔金属具有很高的耐蚀性，但是在含氢氟酸的混合液中，其耐蚀状态很快破坏，表面由钝态转为活态。根据这一特点，几乎所有化学抛光液中都含有氢氟酸、氟化物或曳其他卤化物。 ⑤化学抛光液不需要很高的温度。在抛光过程中金属表面均匀溶解，几乎不发生点腐蚀。如果为了削减尺寸的工艺目的，也可选用较高的温度来增加金属的溶解速率。 ⑥化学抛光液的基本组成物除各种无酸外，还需要加入各种添加剂，目的是抑制腐蚀和增加光泽，如甘油、苯胺及芳香族胺类等。 ⑦难熔金属经热加工后，表面形成复杂的氧化物，为便于化学拋光需对表而预先讲行疏木松（碱煮）处理。

①工件相对研具的运动，要尽量保证工件上各点的研磨行程长度相近； ②工件运动轨迹均匀地遍及整个研具表面，以利于研具均匀磨损； ③运动轨迹的曲率变化要小，以保证工件运动平稳； ④工件上任一点的运动轨迹尽量避免过早出现周期性重复。图为常用的平面研磨运动轨迹。为了减少切削热，研磨一般在低压低速条件下进行。粗研的压力不超过0.3兆帕，精研压力一般采用0.03～0.05兆帕。粗研速度一般为20～120米／分，精研速度一般取10～30米／分。