






工件的大小对研磨难度的影响
由于大工件在研磨时,所磨的面积比小工件要大很多,所以选择的研磨盘,压重块等肯定也是要大很多的。大面积的工件在固定和加压时,如果稍微有一点点受力不均匀,所受到的张力也就越大,容易产生断裂。而小工件,这种压力点不均匀的概率远远低于大尺寸工件,并且小工件平放受压时所受张力没那么大,不容易碎。 其次,我们进行对比论证:400mm直径的工件和30mm直径的工件同时放在研磨抛光机加工件上进行研磨,面积小的比面积大的受力均匀,切削速度也要快一倍。而面积大的工件,磨削过程中由于受力面广,效果不均匀的概率要大,所以更加难以实现效果。 ,我们举一个实际的例子来进行 说明:我们从实验室拿两块厚度均等的硅片来做实验,硅片1,直径500mm厚度1mm,硅片2,直径20mm,厚度1mm,将他们同时放到13-6B双面研磨机加工件上进行研磨。要求效果:平面度2u,平行度:2u,镜面效果。开启设备后,采用相同的研磨耗材对两块工件同时研磨,在研磨10分钟后,硅片1,表面三项指标均为达到;硅片2, 达到。 由此三点,我们得出大小工件研磨难度有着很大差异性。在研磨要求均等的情况下,大工件较难实现一些,且所花的时间更长一些。而小工件则较易实现,研磨效率也要高于大尺寸工件。

关于影响工件粗糙度的两大因素
工件表面进行研磨抛光处理,处理的好坏和效果衡量的标准之一就是粗糙度。粗糙度能从物理测量的标准来衡量工件表面的质量。在平面研磨机加工件对工件进行表面研磨处理时,除去工件材料的不一样的影响外,有两点是影响粗糙度的重大因素: 点,平面研磨机加工件的主轴转速对工件表面粗糙度的影响 研磨速度是将时间量引入工件的变形中,其主要影响工件表面在平面研磨加工中变形的速度,影响工件的物理和机械性能,对工件的特性影响不明显,但高速研磨过程中,摩擦产生的热量能够加快催化加速工件的去除,但是当转速达到900转/秒时,研磨盘的磨损比较严重,导致工件在自转时产生震动,被加工工件的表面质量不高,所以主轴转速选择750转/秒会是一个比较合适的数值。 第二点,研磨颗粒对工件表面粗糙度的影响 工件已加工表面粗糙度随着磨料粒度变化的关系可以看出,这一点,经常做现场试验的工程师会比较清楚。工件的表面粗糙度值随磨料粒度的变细二发生改变。粗加工时磨料粒度大,磨粒尺寸大,磨粒间距也大,磨盘表面尺寸,每个磨粒的切削深度增大,相应的被加工的工件的粗糙度值较大,半精研磨时,磨料的的粒度为W2*,W7*,在此过程中,磨粒的尺寸较小,逐渐将前者留下的粗糙峰磨削掉, 采用精加工,采用*号纳米盘研磨,在高速化学研磨下,被加工工件的表面质量较高,粗糙度达到24nm.

