平面研磨机加工件的速度变化对工件的影响

平面研磨机加工件随着速度继续提高,产生的热量增加,工件表面温度随之升高,使表面金属软化,从而降低硬化程度。随着主轴转速继续提高,超过400RPM以上时,虽然工件表面整体温度仍然较低,但切削区温度有可能达到金属的相变温度,造成工件表面的硬化程度增加。 平面研磨机加工件当速度增大时,变形滞后因素使得工件所受应力增大,用于产生塑性变形所消耗的功也就增多,所以硬化严重。在本节实验的研磨过程中,当主轴转速小于200RPM时,由于塑性功较低,产生热量少,加上研磨液的及时冷却,工件表面温度较低,因此这时机械变形起主要作用,使加工硬化程度提高。固定其它加工参数(磨料粒度W7,研磨压力400N),用不同的研磨速度对工件进行高速研磨加工。随着研磨速度的提高,工件表面硬化程度总的变化趋势是增加但中间有下降部分。根据塑性功等效性原理,加工硬化程度取决于变形所产生的总塑性功。

浅析硅片抛光机加工件的两种抛光方式

硅片抛光机加工件如何解决这个矛盾的 的办法就是把抛光分为两个阶段进行。粗抛目的是去除磨光损伤层，这一阶段应具有 大的抛光速率，粗抛形成的表层损伤是次要的考虑，不过也应当尽可能小；其次是精抛(或称终抛)，其目的是去除粗抛产生的表层损伤，使抛光损伤减到 小。 硅片抛光机加工件不是碾除整体的糠层，是通过碾除细微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉细粒，抛光机加工件抛光和碾白从工作方面比较存在着很大的差别，抛光机加工件抛光压力很低，抛光机加工件抛光米粒的时候流体密度很小，抛光时米粒离开铁辊的速度很快，而且抛光机加工件单位产量抛光运动面积很大。