平面抛光机加工件抛光盘的平面精度与其精度的保持性决定了平面抛光的精度。因此为了使工件获得高精度的加工平面，必须使用高精度平面的抛光盘。在抛光高精度面积较小的平面加工件时，要使用弹性形变小并且能始终保持平面度的抛光盘。所以在平面抛光盘上涂上一层弹性或软金属材料或者是采用特种玻璃作为抛光盘，都可以获得高精度的表面质量。 在工件材质比较软时，如光学玻璃等，有时可以使用软质的抛光盘(如石蜡盘及沥青盘等)或半软质的抛光盘(如铅盘及锡盘等)来获得高精度的光滑无损伤表面。使用软质的抛光盘，抛光后得到的工件表面具有表面粗糙度与讲过变质层都很小的优点，但存在不易保存工件平面度的缺点，对工件平面度产生影响。 在使用软质的抛光盘时，为了确保得到工件的高精度表面，可以采取的措施有以下几点: (1)废弃己经磨损变形的抛光盘; (2)尽量使用耐磨损好的抛光盘; (3)修整磨损变形。可采用人工修整抛光盘的平面，也可利用标准平板与抛光盘对研修整。

陶瓷分为很多种，有氧化铝、氧化锆、氮化硼，氮化铝等。不同的材料有着各自的物理特性，在工业生产中运用在不同的行业和产品。用于陶瓷研磨和抛光的陶瓷研磨机加工件也分为很多种，一般按照研磨面分为：陶瓷平面研磨机加工件，陶瓷外圆磨抛机，陶瓷双面研磨机加工件。 磨平面的陶瓷研磨机加工件一般针对的是氧化锆和氧化铝两种陶瓷材料，一般运用于手机盖板，指纹模组，密封环，阀片等液压行业；这种平面陶瓷研磨机加工件能将手机盖板研磨至镜面效果，也能让陶瓷指纹模组的表面平面度达到1u，粗超度0.2nm，是超高精密的一种研磨设备。 磨外圆的陶瓷研磨机加工件一般针对的是氧化锆这种材料，一般是用在陶瓷插芯这种产品上，用于光纤通讯行业。该种外圆磨抛设备研磨氧化锆陶瓷插芯后圆柱度可控制在0.0005mm以内。 而氮化硼是一种更为先进的材料，目前在工业上是非常炙手可热的，由于它是现今被认知的 硬的一种晶体，耐高温，抗氧化，是耐火材料，也是绝缘材料，所以对工业生产来说它的出现给人带来了惊喜。氮化硼一般用作高科技产品较多，比如航空航天上发动机的喷口，原子反应堆结构材料，散热部件等。 在研磨行业，氮化硼一般用来制作粗磨蓝宝石，氮化铝陶瓷的研磨盘。用氮化硼制作的磨盘硬度高，不易磨损，磨削速度快，耐高温，对所磨材料也不会造成损伤，所以是一种极好的研磨材料。