平面抛光机加工件抛光盘的平面精度与其精度的保持性决定了平面抛光的精度。因此为了使工件获得高精度的加工平面，必须使用高精度平面的抛光盘。在抛光高精度面积较小的平面加工件时，要使用弹性形变小并且能始终保持平面度的抛光盘。所以在平面抛光盘上涂上一层弹性或软金属材料或者是采用特种玻璃作为抛光盘，都可以获得高精度的表面质量。 在工件材质比较软时，如光学玻璃等，有时可以使用软质的抛光盘(如石蜡盘及沥青盘等)或半软质的抛光盘(如铅盘及锡盘等)来获得高精度的光滑无损伤表面。使用软质的抛光盘，抛光后得到的工件表面具有表面粗糙度与讲过变质层都很小的优点，但存在不易保存工件平面度的缺点，对工件平面度产生影响。 在使用软质的抛光盘时，为了确保得到工件的高精度表面，可以采取的措施有以下几点: (1)废弃己经磨损变形的抛光盘; (2)尽量使用耐磨损好的抛光盘; (3)修整磨损变形。可采用人工修整抛光盘的平面，也可利用标准平板与抛光盘对研修整。

一、研磨设备 在表面处理中，常用的研磨设备有平面研磨机加工件、双面研磨机加工件、平面抛光机加工件、镜面抛光机加工件等，其中又以平面研磨机加工件应用 广。平面研磨机加工件操作方便，用于各种硬脆材料小小尺寸的批量单平面研磨加工；平面抛光机加工件用于各种硬脆材料的表面抛光加工；镜面抛光机加工件则是将硬脆材料的表面加工到镜面效果。 二、加工工件 不同材质的零件、不同规格的零件、不同要求的零件，也就要求搭配不同的研磨设备与研磨介质。打个比方，研磨铝合金平面表面需要使用平面研磨机加工件，配合使用含有棕刚玉的研磨液、辅以适当重量的压重块，以粗磨、中磨、精磨的方式进行精密研磨。 三、研磨介质 研磨介质包括研磨石、抛光石、研磨剂、光泽剂等研磨抛光材料，每种材料都有自己的应用范围，如塑胶研磨石用于材质较软的材料，如铝、锌、铜、塑料等；陶瓷类研磨石用于材质较硬的材料，如铁、不锈钢、白铁、钢材等；抛光材质为铁的零件，需要用到铁光泽剂，抛光材质为铜的零件，需要用到铜光泽剂，手工具切削剂用于各类扳手、套筒、批咀去黑膜、去氧化皮，如果用于其他零件，将可能会腐蚀、破坏零件。