精密双面研磨机加工件超精研加工时，工件与较粗糙的工件表面接触，接触面积较小，压强较大，表面较光滑，接触面的逐渐增大，逐渐形成润滑油膜， 停止切削，起到高抛光的作用。 1、工件表面加工过程中，由于速度低、发热少，不变形，质量高； 2、良好的润滑油存储条件，提高工件表面的耐磨性； 3、工件的反复振动，磨料的切削方法随之不断改变，磨料易研磨，切削效率高； 4、较复杂的磨粒运动轨迹，工件表面在从研磨到抛光的过渡中达到较高的光洁度。

在平面精密研磨过程中，研磨盘的精度是决定研磨工件品质的重要因素。我们都知道平面研磨机加工件的磨盘在经过一段时间的研磨过后，由于磨盘磨损强度不均匀会导致研磨盘不平整，在后面研磨的工件加工质量会变得参数不一致，而且磨盘表面磨粒与粘结剂形成的微孔会被磨屑淤塞，造成磨削效率下降。研磨盘的平面度是影响高精密研磨加工品质的关键因素。 不平整的研磨盘会造成研磨压力的不均匀，导致摆放在放料架具结轮片上不同位置的工件加工厚度不一致，严重时还会影响工件的平面度与其他质量参数。因此，平面研磨机加工件就必须采用修盘器来修整研磨盘。采用材料相对来说较硬的修盘器来对磨盘进行修整，使其露出新的，平整的研磨表面。研磨盘的修整采用修盘器与研磨盘互研的方法，通过调整中心齿轮、外齿轮圈以及上下盘的转速，从而得到修整研磨盘磨石的不同效果。平面研磨机加工件修盘时的工艺参数对研磨盘的修整效果需要长时间的经验积累，同时还与工艺条件操作都经验技术相关。一般来说在选购平面研磨机加工件时选购自带修盘的，这样不仅能保证加工产品的质量，同时也为日后机器修盘方便快捷。