精密双面研磨机加工件超精研加工时，工件与较粗糙的工件表面接触，接触面积较小，压强较大，表面较光滑，接触面的逐渐增大，逐渐形成润滑油膜， 停止切削，起到高抛光的作用。 1、工件表面加工过程中，由于速度低、发热少，不变形，质量高； 2、良好的润滑油存储条件，提高工件表面的耐磨性； 3、工件的反复振动，磨料的切削方法随之不断改变，磨料易研磨，切削效率高； 4、较复杂的磨粒运动轨迹，工件表面在从研磨到抛光的过渡中达到较高的光洁度。

平面研磨机加工件随着速度继续提高,产生的热量增加,工件表面温度随之升高,使表面金属软化,从而降低硬化程度。随着主轴转速继续提高,超过400RPM以上时,虽然工件表面整体温度仍然较低,但切削区温度有可能达到金属的相变温度,造成工件表面的硬化程度增加。 平面研磨机加工件当速度增大时,变形滞后因素使得工件所受应力增大,用于产生塑性变形所消耗的功也就增多,所以硬化严重。在本节实验的研磨过程中,当主轴转速小于200RPM时,由于塑性功较低,产生热量少,加上研磨液的及时冷却,工件表面温度较低,因此这时机械变形起主要作用,使加工硬化程度提高。固定其它加工参数(磨料粒度W7,研磨压力400N),用不同的研磨速度对工件进行高速研磨加工。随着研磨速度的提高,工件表面硬化程度总的变化趋势是增加但中间有下降部分。根据塑性功等效性原理,加工硬化程度取决于变形所产生的总塑性功。