在平面精密研磨过程中，研磨盘的精度是决定研磨工件品质的重要因素。我们都知道平面研磨机加工件的磨盘在经过一段时间的研磨过后，由于磨盘磨损强度不均匀会导致研磨盘不平整，在后面研磨的工件加工质量会变得参数不一致，而且磨盘表面磨粒与粘结剂形成的微孔会被磨屑淤塞，造成磨削效率下降。研磨盘的平面度是影响高精密研磨加工品质的关键因素。 不平整的研磨盘会造成研磨压力的不均匀，导致摆放在放料架具结轮片上不同位置的工件加工厚度不一致，严重时还会影响工件的平面度与其他质量参数。因此，平面研磨机加工件就必须采用修盘器来修整研磨盘。采用材料相对来说较硬的修盘器来对磨盘进行修整，使其露出新的，平整的研磨表面。研磨盘的修整采用修盘器与研磨盘互研的方法，通过调整中心齿轮、外齿轮圈以及上下盘的转速，从而得到修整研磨盘磨石的不同效果。平面研磨机加工件修盘时的工艺参数对研磨盘的修整效果需要长时间的经验积累，同时还与工艺条件操作都经验技术相关。一般来说在选购平面研磨机加工件时选购自带修盘的，这样不仅能保证加工产品的质量，同时也为日后机器修盘方便快捷。

平面抛光机加工件是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。修整的方法有两种： 1、是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，由于电镀金刚石修整轮基本不磨损，可得到较高的平面度。 2、是通过修整机构修面后，也可获得较好的平面度，这种修整的原理与车床原理一致，研磨盘旋转，一个可前后运动的刀在刀杆的带动对研磨进行切削获得平面，务必达到±0.001mm生产出来的产品才能更好的保证质量。 平面抛光机加工件研磨可用于加工各种金属和非金属材料，加工的表面形状有平面，内、外圆柱面和圆锥面，凸、凹球面，螺纹，齿面及其他型面。加工精度可达IT5～01，表面粗糙度可达Ra0.63～0.01微米，属于精密加工。该系列抛光机加工件主要用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。