磨料是研磨机加工件加工过程中，研磨液中必不可少的一个重要组成部分，对研磨起着决定的作用，在平面研磨机加工件进行粗加工的时候，使用的磨料会显得较粗糙，而在平面抛光机加工件精加工的时候，所使用的抛光液中的磨料就很细。根据各阶段所到的加工的目的的差异，其在不同的研磨机加工件加工时会使用不同磨粒的研磨液，达到加工效果。而磨料的种类很多，它的分类一般都是按照它的硬度来进行划分的。 1、硬度 的是金刚石，通常会有人造金刚石以及天然金刚石这两种。 2、其次就是碳化物类，如黑碳化硅、绿碳化硅、碳化硼和碳涟硼等。 3、再次是硬度较高的刚玉类，如棕刚玉、白刚五、单刚玉、路刚玉、微晶刚玉、黑刚玉、铝刚王和烧结刚玉等。 4、硬度 的氧化物类又称软之为质化学磨料，有氧化格、氧化铁、氧化埃及氧化饰等。

硅片抛光机加工件如何解决这个矛盾的 的办法就是把抛光分为两个阶段进行。粗抛目的是去除磨光损伤层，这一阶段应具有 大的抛光速率，粗抛形成的表层损伤是次要的考虑，不过也应当尽可能小；其次是精抛(或称终抛)，其目的是去除粗抛产生的表层损伤，使抛光损伤减到 小。 硅片抛光机加工件不是碾除整体的糠层，是通过碾除细微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉细粒，抛光机加工件抛光和碾白从工作方面比较存在着很大的差别，抛光机加工件抛光压力很低，抛光机加工件抛光米粒的时候流体密度很小，抛光时米粒离开铁辊的速度很快，而且抛光机加工件单位产量抛光运动面积很大。