平面研磨机加工件对工件的加工主要分为精磨、粗磨以及薄片工件加工三种研磨抛光方式，对较窄的平面进行研磨时，由于工件是不容易与平板贴合的很好的，这时会选择使用靠铁进行研磨，用于保证工件的垂直度，而在大批量的进行工件的研磨加工的时候，是可以使用“C”形夹，要将几个工件夹在一起来同时的进行加工研磨，既能够防止工件加工面的倾斜，还能够提高平面研磨机加工件研磨时的加工效率，适合量产加工。 平面研磨机加工件在进行薄片工件研磨加工的适合，由于工件是比较容易产生变形的，这个适合 的是采用将工件嵌入木块内来进行研磨，这就能够有效地控制工件产生变形，工件在槽平板上比较容易使工件表面贴合良好，不会是工件的表面形成弧形，而工件的精研磨应该在光滑的平板上进行，主要是用以保证工件的平面度。

如何减少热变形对平面研磨机加工件在加工工件精度方面的影响，需要在平面研磨机加工件设备上采用各种热自动补偿的方法来改善工艺系统，下面就来具体说说其中的方法。 在解决工件的两端面磨主轴热伸长的问题的时候，采用的解决办法是除了改善主轴轴承的润滑的方面之外，还会采用热补偿的方法，达到平衡的要求，在当主轴由于轴承的发热而出现变形伸长的时候，自动补偿主轴的向前的热变形，达到消除平面研磨机加工件主轴的热变形的加工精度的影响。 在设备的结构上，还有其他的达到热均衡的方法，主要是采用热空气空气来加热温升，以达到均衡温升，这种能够有效降低立柱的弯曲变形。 这种方法被加工工件的不平度是可以大大的降低，由于设备的原因，设备上部分的热量会比较大，目前会采用热管的装置来降低设备的热变形，效果比较明显。 缩短启动至达到一个热平衡的这个时间，是比较有利于提高生产率的。主要有两种方法，在加工工件之前需要是平面研磨机加工件设备能够迅速的达到一个热平衡的状态，然后是换成工作转速进行加工，另外一种方法。是采用设备适当部位人工设备热源，促进其达到热平衡，在设备不进行工作的时候，保持设备能够加工到工作的状态的温度，从而是设备的热变形能够减小到一半。