平面研磨机加工件对工件的加工主要分为精磨、粗磨以及薄片工件加工三种研磨抛光方式，对较窄的平面进行研磨时，由于工件是不容易与平板贴合的很好的，这时会选择使用靠铁进行研磨，用于保证工件的垂直度，而在大批量的进行工件的研磨加工的时候，是可以使用“C”形夹，要将几个工件夹在一起来同时的进行加工研磨，既能够防止工件加工面的倾斜，还能够提高平面研磨机加工件研磨时的加工效率，适合量产加工。 平面研磨机加工件在进行薄片工件研磨加工的适合，由于工件是比较容易产生变形的，这个适合 的是采用将工件嵌入木块内来进行研磨，这就能够有效地控制工件产生变形，工件在槽平板上比较容易使工件表面贴合良好，不会是工件的表面形成弧形，而工件的精研磨应该在光滑的平板上进行，主要是用以保证工件的平面度。

平面抛光机加工件是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。修整的方法有两种： 1、是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，由于电镀金刚石修整轮基本不磨损，可得到较高的平面度。 2、是通过修整机构修面后，也可获得较好的平面度，这种修整的原理与车床原理一致，研磨盘旋转，一个可前后运动的刀在刀杆的带动对研磨进行切削获得平面，务必达到±0.001mm生产出来的产品才能更好的保证质量。 平面抛光机加工件研磨可用于加工各种金属和非金属材料，加工的表面形状有平面，内、外圆柱面和圆锥面，凸、凹球面，螺纹，齿面及其他型面。加工精度可达IT5～01，表面粗糙度可达Ra0.63～0.01微米，属于精密加工。该系列抛光机加工件主要用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。