平面研磨机加工件在加工的过程中对于研磨盘与工件之间的温度的把握也是需要解决的一个问题，需要把温度控制在适当的温度，超高适当温度就需要降温，不然对机器和工件的损伤是很大的，在这个问题上，我们给机器添加了一个降温装置，这个装置是在机器开启的时候也自行启动，在平面研磨机加工件工作中，磨盘与温度达到了一定的温度之后降温装置中冷却液就会流入磨盘和工件中，这样的不仅可以达到降温的效果同时还可以起到研磨液的效果。 平面研磨机加工件属于高精密机器，工件放于研磨盘上，研磨盘逆时转动。工件自己转动，在适当的压力下，工件也研磨盘做相反运动，产生摩擦，达到研磨效果，被广泛运用于于LED蓝宝石衬底、光学晶体材料、石英晶片、硅片、诸片，导光板、阀片、液压密、不锈钢等以及光纤接头等等各种材料的单面研磨与抛光。

工件表面进行研磨抛光处理，处理的好坏和效果衡量的标准之一就是粗糙度。粗糙度能从物理测量的标准来衡量工件表面的质量。在平面研磨机加工件对工件进行表面研磨处理时，除去工件材料的不一样的影响外，有两点是影响粗糙度的重大因素： 点，平面研磨机加工件的主轴转速对工件表面粗糙度的影响 研磨速度是将时间量引入工件的变形中，其主要影响工件表面在平面研磨加工中变形的速度，影响工件的物理和机械性能，对工件的特性影响不明显，但高速研磨过程中，摩擦产生的热量能够加快催化加速工件的去除，但是当转速达到900转/秒时，研磨盘的磨损比较严重，导致工件在自转时产生震动，被加工工件的表面质量不高，所以主轴转速选择750转/秒会是一个比较合适的数值。 第二点，研磨颗粒对工件表面粗糙度的影响 工件已加工表面粗糙度随着磨料粒度变化的关系可以看出，这一点，经常做现场试验的工程师会比较清楚。工件的表面粗糙度值随磨料粒度的变细二发生改变。粗加工时磨料粒度大，磨粒尺寸大，磨粒间距也大，磨盘表面尺寸，每个磨粒的切削深度增大，相应的被加工的工件的粗糙度值较大，半精研磨时，磨料的的粒度为W2*，W7*，在此过程中，磨粒的尺寸较小，逐渐将前者留下的粗糙峰磨削掉， 采用精加工，采用*号纳米盘研磨，在高速化学研磨下，被加工工件的表面质量较高，粗糙度达到24nm.