





工件的大小对研磨难度的影响由于大工件在研磨时,所磨的面积比小工件要大很多,所以选择的研磨盘,压重块等肯定也是要大很多的。大面积的工件在固定和加压时,如果稍微有一点点受力不均匀,所受到的张力也就越大,容易产生断裂。而小工件,这种压力点不均匀的概率远远低于大尺寸工件,并且小工件平放受压时所受张力没那么大,不容易碎。 其次,我们进行对比论证:400mm直径的工件和30mm直径的工件同时放在研磨抛光机加工件上进行研磨,面积小的比面积大的受力均匀,切削速度也要快一倍。而面积大的工件,磨削过程中由于受力面广,效果不均匀的概率要大,所以更加难以实现效果。 ,我们举一个实际的例子来进行 说明:我们从实验室拿两块厚度均等的硅片来做实验,硅片1,直径500mm厚度1mm,硅片2,直径20mm,厚度1mm,将他们同时放到13-6B双面研磨机加工件上进行研磨。要求效果:平面度2u,平行度:2u,镜面效果。开启设备后,采用相同的研磨耗材对两块工件同时研磨,在研磨10分钟后,硅片1,表面三项指标均为达到;硅片2, 达到。 由此三点,我们得出大小工件研磨难度有着很大差异性。在研磨要求均等的情况下,大工件较难实现一些,且所花的时间更长一些。而小工件则较易实现,研磨效率也要高于大尺寸工件。

平面研磨机加工件工作的时间和速度这两个研磨要素是密切相关的,与加工过程中工件所走过的路程成正比,研磨时间过长,不仅加工精度趋向稳定不再提高,甚至会因过热变形丧失精度,并使研磨效率降低。实践表明,在研磨的初始阶段,工件几何形状误差的消除和表面光洁度的改善较快,而后则逐步缓慢下来。 通过平面研磨机加工件工作原理的分析可知;研磨开始阶段因有工件的原始粗键度及几何形状误差,工件与研具接触面积较小,使磨粒压下较深。随着研磨时间增加,磨粒压下渐浅,通过工件横截表面的磨粒增多,几何形状误差很快变小而表面光洁度构改善也较快。当基本消除几何形状误差之后,工件与研具上的磨粒接触较多,此时磨粒压下深度较浅,各点切削厚度趋于均匀。研磨时间再长些,则通过工件横截面磨粒数量增多,对工件精度的改善则变得缓慢了。超过一定的研磨时间之后,磨粒钝化得更细,压下更浅,切削能力也更低了,并逐渐趋向稳定。 对粗研磨来说,为获得较高的研磨效率,平面研磨机加工件研磨时问主要应根据磨粒的切削快慢来确定。对精研磨来说,实验曲线表明,研磨时问在1~3分钟范周,对研磨效果的改变已变缓,超过3分钟,对研磨效果的提高没有显著变化。

