精密平面研磨抛光机广泛应用于各类材料的单面研磨抛光，特别是针对超薄工件、越大工件、易碎工件有明显的加工优势。不过在研磨超薄工件会出现变形情况，这是研磨过程中常见的一个问题，如何解决这个现象就是我们今天主要分析的话题。 出现这种情况的关键原因是因为工件太薄，在抛光的过程中容易塌边，破碎。所以我们可以从减少超薄工件的受力方面入手，减少工件受力可以垫弹性垫片减小工件的弹性变形。垫纸、涂白蜡也是减少工件受力的方法，从而降低超薄工件变形发生的概率。 除了降低工件的压力，还可以降低高温对工件的损坏度入手，工件温差过大也是影响变形的一个因素。所以可以在研磨平面研磨抛光机配备冷却装置减少工件磨削的温差，同时还能提高磨削的质量。

通常孔径差异不大的内孔抛光，使用精艺研磨设备就可以直接抛，但如果孔径差异非常大，就像图中这样，而且有个阶梯，就必须要做个工装了。 工装可以保持磨料在工件内部压力的一致性，这样抛光效果就非常均匀，否则底部阶梯那个位置，因为磨料是直接顶在那里，而不是流动的，就很难抛出效果。实际设计中，工装比这个要复杂，而且还要盛放工件，差不多一个工装可以盛放8-10个，每次抛光时间为4分钟，单个工件抛光时间20-30秒。